主動(dòng)消振隔振系統(tǒng)

TMC繼續(xù)在先進(jìn)技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的**半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主動(dòng)消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺(tái)引起的有效載荷運(yùn)動(dòng)能夠非常快速地穩(wěn)定，以**限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時(shí)間，進(jìn)一步提高吞吐量，從而為移動(dòng)平臺(tái)應(yīng)用提供**先進(jìn)的主動(dòng)振動(dòng)和運(yùn)動(dòng)消除系統(tǒng)。

Stage-Base 450優(yōu)勢(shì)

Stage-Base 450采用了下一代主動(dòng)硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種**低頻消振串行型技術(shù)，通過使用音圈電機(jī)（VCM），實(shí)現(xiàn)了主動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)消除。

Stage-Base 450下一代主動(dòng)控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù)。使用壓電致動(dòng)器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實(shí)現(xiàn)了**的消振。這實(shí)現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)**地面隔振，響應(yīng)于平臺(tái)力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。

規(guī)格

? 采用STACIS®技術(shù)

? 采用高力、加長(zhǎng)行程的壓電致動(dòng)器

? 有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

? 框架安裝設(shè)計(jì)

? 6個(gè)主動(dòng)自由度

? 可選的VCM前饋和/或反饋

? 始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振

? 響應(yīng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的快速穩(wěn)定時(shí)間

? 無軟空氣懸架

? 通過USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

? 簡(jiǎn)單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

性能

主動(dòng)消振隔振系統(tǒng) 應(yīng)用照片